对涂层厚度的精确性测量非常要求,涂层太薄太厚,都会影响性能,例如在锂电池行业,锂电池隔膜太薄可能会造成短路,太厚会影响电池的能量密度,因此在线精确测量涂层整面厚度至关重要。不同行业对膜厚以及对应的膜厚精度要求各有不同,例如,锂电涂料行业,往往要求膜厚在10um到2000um之间,精度要求小于1um;而在半导体行业,如太阳能,芯片等的膜厚,要求在1nm到100nm之间,精度要求高,在0.1nm到1nm之间。
传统单点厚度测量,只能测量测量涂层单个点的涂层厚度,在实际应用过程中,无法快速了解整面涂层的厚度,生产效率低。
使用SPECIM FX17推扫式高光谱成像系统,可以及时检测涂层整个膜厚,在每条线扫描数据中,光谱数据能覆盖整个涂层的厚度,有助于监测保护涂层厚度及其分布均匀性。
测试案例:
使用单点测试方式对3种涂层进行测量,如下图所示:
使用SPECIM FX17高光谱相机对3种涂层厚度进行测量。
测量原理如下:
使用SPECIM FX17高光谱相机直接测量样品膜厚,无需借助任何夹具。
使用峰值计数法计量膜厚,折射率暂定为1.6。
膜厚计算结果包含了与平面度相关的误差,例如薄膜的倾斜变形。
测量结果如下:
与单点厚度测量仪相比,采用高光谱成像相机测量涂层厚度,可以提供涂层膜厚检测的效率和质量控制,对涂层厚度进行100%在线检测,减少返工和次品率。
FG31测量结果
FG65测量结果
FP61测量结果
半导体测厚:
光刻胶纳米级厚度测量
半导体芯片封装多层膜厚测量
新能源行业:
锂电池隔膜整面在线微米级测厚
电子行业:
3C电子显示触摸屏膜层测厚
光学加工行业:
光学镜片/镀膜元件测厚
包装行业:
薄膜厚度生产线实时测量,膜厚监控
汽车行业:
汽车车身整面测厚
车身镀层厚度测量
发动机缸体、活塞等关键零部件表面膜厚测量
建筑行业:
保温板材/装饰板材测厚