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ZEM系列台式扫描电镜选型建议

2025-4-18T15:58:10 阅读量:13

在选择ZEM台式扫描电镜的时候,如何根据自己的需要选择合适的型号呢?本文将介绍ZEM系列台式扫描电镜不同型号各自的优势,用户可根据自己的测试需要选择合适的型号。

ZEM系列台式扫描电镜有ZEM  Ultra场发射台式扫描,ZEM 20台式扫描电镜,ZEM Pro单晶灯丝电镜,ZEM 18台式扫描电镜,ZEM 15C台式扫描电镜。

这几种型号主要有以下的区别:

从核心技术来说:ZEM Ultra采用的是肖特基场发射电子枪技术;ZEM Pro使用的是单晶丝技术;ZEM 20采用的是经典钨灯丝技术;ZEM 18采用的是预对钨灯丝技术,10M信号带宽,多级防震技术;ZEM 15C采用的是预对钨灯丝技术,多级防震技术。

从分辨率上来说:ZEM Ultra可放大50万倍;ZEM Pro可放大36万倍;ZEM 20可放大36万倍;ZEM 18可放大20万倍;ZEM 15C可放大15万倍。

从产品特色上来说,ZEM Ultra可用于高精度半导体研究,分辨率小于2.5nm,可支持原位实验;ZEM Pro可用于工业检测,分辨率可达3nm,超大样品仓,提高检测效率;ZEM 20换样时间仅需30秒,可选配五轴样品台;ZEM 18可90秒抽真空,成像快速流畅;ZEM 15C即插即用,操作简单。

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