液晶显示器（LCD）增亮膜是背光模组的核心组件，通过微棱镜结构优化光路分布，将亮度提升60%-230%。其性能直接依赖微观结构的完整性（如棱镜形貌、层间贴合度），传统检测方法因需喷金处理易掩盖真实缺陷。 ZEM20台式扫描电镜解决了这一难题，成为行业质控的关键工具。
增亮膜检测核心需求如下所示：
微观形貌精度：棱镜结构需达±1μm精度，塌陷、毛刺会降低光学效率。
层间缺陷：贴合气泡导致光散射。
免喷金检测：高分子材料导电性差，传统SEM喷金会掩盖表面细节。
ZEM20针对增亮膜检测需求，集成以下创新技术：
低真空成像技术
在30 Pa压力下实现电荷动态中和，直接观测未喷金样品，避免结构变形。
分辨率达4nm@20kV，可清晰捕捉0.5μm级棱镜塌陷与边缘毛刺。
多维分析能力
形貌分析：二次电子（SE）与背散射电子（BSE）混合成像，凸显表面及截面微结构。
使用ZEM 20台式扫描电镜对3M增量膜表面棱形微观结构进行SEM观察
成分分析：集成Oxford能谱仪（EDS），元素分析范围B5-Cf98，识别层间污染物（如Zr元素异常）
使用ZEM 20台式扫描电镜增量膜截面的EDS面扫描分布图像
ZEM20台式扫描电镜通过低真空免喷金技术、纳米级分辨率及一体化EDS分析，解决了增亮膜微观缺陷检测的行业痛点。