ZEM20台式扫描电镜采用更加宽泛的加速电压，1KV步进，最高放大 36 万倍，分辨率可达5nm。样品台减速模式下，弱导电样品无需喷金也能实时观察。超大样品仓可集成多种原位拓展平台，满足不同实验及检测需求。
▲真空分隔技术 ：采用独特真空设计，电子枪和样品仓真空分离，换样时间小于1min。
▲ 超大样品仓：提供了更大的样品存储空间，方便用户操作。
▲ 超高分辨率：极限放大倍数达到36万倍，分辨率4nm@20kV。
▲ 标配减速模式：允许弱导电样品在不喷金的情况下进行观察。
▲ 仓内摄像头：样品仓内置高清摄像头，原位实验时可实时监测样品原位变化
| 环境要求 | AC220V，50Hz，1kW，无需减震台 |
| 加速电压 | 3kV~20kV连续可调，1kV步进 |
| 电子枪 | 预对中钨灯丝，一体式聚光镜，无需手动调节物镜光阑，可选配LaB6灯丝 |
| 放大倍数 | 25~360000倍 |
| 分辨率 | 5nm |
| 探测器 | 二次电子探测器、四分割背散射电子探测器、集成式能谱仪(选配) |
| 样品台 | 三轴:X:60mm,Y:60mm，T:+45 五轴(选配):X:90mm,Y:50mm,Z:25mm,R:360°,T:-10-90° |
| 超大样品舱 | 长185mm*宽176mm*高125mm |
| 真空模式 | 高真空模式:换样时间30s;低真空模式(选配):1-60Pa自动控制 |
| 成像模式 | 视频模式：512x512像素，无需小窗口扫描 快扫模式：512x512像素 慢扫模式：2048x2048像素 图像格式：BMP，TIFF，JIPEG，PNG |
| 导航功能 | 光学相机导航，舱内摄像头，可实时观察样品舱内情况 |
| 自动功能 | 一键自动配置亮度、对比度、自动聚焦等 |
| 尺寸 | 主机:650x370x642(mm) |
| 扩展功能 | 兼容多种原位功能样品台(TEC冷台、加热台、拉伸台等) |
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