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在线面测厚/面测油污/面测色方案:SPECIM高光谱相机

2025-4-3T17:03:12 阅读量:12

Specim FX系列高光谱相机是专为工业应用而设计的高光谱相机,可根据目标样品的化学成分获得可靠的分类结果。其高帧频可满足高速工业应用的需求、坚固的结构与小巧的尺寸则便于现场的灵活安装。

产品特征

非接触、非破坏性、在线式

高速成像

宽光谱波段可选

体积小,适合多种空间

具有MROI功能的100% 成像覆盖率

无需校准即可互换

兼容现有和新系统

重量轻,便于运输

随时随地进行软件更新

工作原理

Specim工业高光谱相机,采用线扫描方式,通过传送物体可以检测整个物体表面,相机逐行扫描沿一个方向移动的样品,记录被扫描线上每个像素的光谱信息。

产品应用

1. 在线整面测油污

电极材料(铜箔、铝箔)油污清洁度检测

Specim工业高光谱相机可以检测电极材料微小的油滴或污染情况,油污分布可视化。

2. 在线整面测厚

(1)薄膜厚度检测

Specim FX17高光谱相机可以检测整个薄膜或涂层的厚度。 在每条线扫描数据中,光谱数据能覆盖薄膜的整个宽度,并且有很高的空间分辨率。

(2)晶圆表面污染检测

Specim高光谱相机可以检测污染物,精确测量薄膜厚度(抗蚀剂、氧化物、氮化物等)的面积分布以及表面状况参数。

3. 在线整面测色

Specim高光谱相机在色彩测量准确度上优于人眼和RGB相机,可以采集目标物的反射光谱信息并使用Lab颜色空间来分析光谱信息,可用于精确识别和量化物体中存在的颜色,包括人眼可能无法察觉的细微颜色变化。在可见光区域,可以实现非常高的颜色分离度。Specim高光谱相机可以非破坏式测量色彩并进行快速实时分析,自动化工作流程,支持测量颜色、对比度和亮度。

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