全自动台阶仪JS2000B拥有高精度、高分解能力，搭配一体花岗岩结构，提供稳定可靠的重复性测量。全自动台阶仪JS2000B提供两个彩色摄像头对样品和针尖同时成像，可无畸变的观察样品区，方便定位特征区域，同时探针扫描时可实时观察扫描区域。
量测精确、功能丰富、一体式集成、模块化设计、售后便捷、极高性价比
产品应用
▲刻蚀、沉积和薄膜等厚度测量
▲薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测量
▲各式薄膜等应力测量
▲3D扫描成像
▲计划任务和多点扫描
▲批量测试晶圆，批量处理数据等
▲高度校准标样
▲FFU模块
▲静电消除模块
▲E84接口
| 技术参数 | 说明 |
| 台阶高度最大范围 | ≤80um |
| 台阶高度重复性 | ≤0.5nm |
| 垂直分辨率 | 0.05nm |
| 探针加力范围 | 0.5mg~50mg |
| 单次扫描长度 | <55mm |
| 晶圆尺寸 | 可兼容6寸、8寸Wafer |
| 晶圆厚度 | ≤10mm |
| 晶圆材质 | 硅、钽酸锂、玻璃等(不透明，半透明，透明) |
| 图像识别系统精度 | 定位精度优于+10um |
| 机械动作稳定性 | 马拉松传送测试>500片 |
| 生产效率 | WPH≥10片(单面量测>=5个位置) |
| 台阶高度最大范围 | ≤80um |
| 标准探针 | 曲率半径>2um角度60°(标配) |
| 亚微米探针 | 曲率半径≤1um角度60°(选配) |
| 软件功能 | 数据处理:台阶、粗糙度、平整度和翘曲度测量; 应力测试和3D扫描成像 数据通讯:SECS通讯接口 |
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