材料表面洁净度检测方法包括以下几种：
目视检查：通过肉眼观察表面是否有污染物，如颜色、光泽度等变化，是相对简单的检测方法之一。在污染严重时可以观察但有时不够准确。
粒子计数器：可以用于检测表面残留的颗粒物和微粒。
红外光谱法：通过红外光谱仪测量样品的红外光谱，可以分析样品中有哪些化学键和分子结构，从而检测表面的污染物。
X射线荧光光谱法：通过X射线荧光光谱仪测量样品中的元素组成，可以检测表面的金属污染物，如氧化物、硅酸盐、硫化物等。
扫描电子显微镜（SEM）-能谱分析（EDS）：通过SEM观察样品表面形貌，结合EDS测量元素能谱，可以检测表面的污染物及其元素组成。
原子力显微镜（AFM）：通过AFM观察样品表面形貌和力学性质，可以检测表面的污染物及其形态。
清洗试验：将已清洗干净的标准样品和待检测样品放入清洗液中，经过一定时间后取出观察表面是否有污染物，这种方法可以对比清洗前后的样品，比较准确地检测出表面是否干净。
表面洁净度检测仪：德国析塔表面洁净度仪采用共焦法原理，通过光源发射出最佳波长的UV光检测金属表面的污染物，内置的传感器精准探测污染物引起的荧光强度，该荧光强度的大小取决于基材表面有机物残留情况，从而能精准量化检测金属表面清洁度。
需要根据具体的材料类型、应用场景和检测要求选择合适的材料表面洁净度检测方法，综合应用多种方法可以提高检测的准确性和可靠性。